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硅晶圆清洗水可采用超纯水设备生产

2024-01-15

硅晶圆是半导体制造过程中必不可少的材料之一。它是一种无机非金属材料,主要由硅元素构成,具有良好的稳定性。在半导体制造中,硅晶圆通常用作集成电路、太阳能电池和其他电子设备的基板。硅晶圆的生产需要高精度的加工和严格的质量控制,以确保晶圆的纯度和一致性。

当硅晶圆被污染时,需要对硅晶圆进行清洗,以此保证它作为电子器械生产原料的纯净度。硅晶圆清洗并不是自来水冲洗就可以的,因为它是精密材料,必须要使用超纯水清洗才可以保护它不受杂质污染。超纯水设备是生产超纯水的专用技术产品,可以稳定连续地生产大批量品质安全可靠的超纯水。

超纯水设备
超纯水设备

超纯水设备采用了“双级反渗透系统+EDI模块”的技术工艺。反渗透膜可以有效去除水中含有的钙、镁、钾等金属离子和其他微量元素,还可以将细菌、微生物有效脱除。EDI系统有效保证了超纯水品质,脱盐处理过程中不会产生酸碱废液,不会给后续工艺带来处理负担,省去了酸碱中和处理的步骤,简化了生产工艺。

富联娱乐 上海水处理公司 超纯水设备内部还设置了独有的靶向离子交换系统,可以将难处理的硼及其他离子定向去除。由于反渗透膜技术的存在,在超纯水生产时可以实现系统的带电荷运行,离子迁移速度会更快,脱盐效果会更好。除此之外,超纯水设备还实现了高度自动化运行,操作非常灵活,节约了人员力量的投资成本。

超纯水的水质纯度高,主要用作工业生产原料水和精密器械清洗水。采用超纯水清洗硅晶圆能有效保证硅晶圆的无菌性和纯净度。超纯水设备可以稳定连续生产超纯水,不需要更换树脂,具有很高的应用价值。

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编辑:新奇 技术:木子

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